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技術紹介 >>材料検査>>SEM・EDS
 
技術紹介

材 料 検 査

走査型電子顕微鏡(SEM)
エネルギー分散型X線分析装置(EDS)

SEM/EDSによる調査・分析

走査電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)は、試料の表面状況を低倍率から高倍率までの連続的な観察に優れた顕微鏡です。その特性から、たとえば破損品の原因調査における破面様相観察や光学顕微鏡では観察できない金属組織の微視的観察などに適用されます。また、SEMに分析装置を装着することで、多様な分析を行うことができます。
弊社では最新のSEMとエネルギー分散型分析装置(EDS:Energy Dispersive x-ray Spectroscopy)を導入し、サンプリング材調査等におけるさまざまなニーズにお応えいたします。

仕 様

  • SEM(走査型電子顕微鏡):KEYENCE社製 VE-8800
    観察倍率:15倍〜10万倍
    加速電圧:0.5kv〜20kv
    3D観察機能他
  • EDS(エネルギー分散型X線分析装置):Oxford社製 INCA Energy
    定性分析、簡易定量分析
    ラインスキャン、元素マッピング機能等

用 途

  • 破損品の破面観察(原因調査)
  • 金属組織形態の詳細観察
  • 各種元素分析(定性、簡易定量、元素分布状態など)


観察・分析例
破面観察事例
マクロ破面の一例
疲労破面
延性破面

金属組織観察事例(Cr-Mo鋼 高温長時間使用材)
光学顕微鏡観察組織       
    SEM観察組織

元素分析の例 (耐熱超合金:高温長時間使用材材)
SEM像 矩形領域のスペクトルの比較
SEM観察領域の元素マッピングとラインスキャン